PZT铁电陶瓷薄膜是一种重要的电子信息功能薄膜,具有优异的铁电压电、介电及热释电性能,在诸如压电传感器、红外探测器、铁电薄膜存储器中都有着广泛的应。而选择优良的靶材是制备薄膜的重中之重,下面我们通过南京皮埃路电子技术有限公司为我们介绍一下PZT靶材。
靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料,不同的靶材可以得到不同的膜系,靶材按照化学成分不同可分为:金属靶材、氧化物靶材等。化学式中含有多种金属离子和氧离子的化合物即复杂氧化物,比如:SrRuO3、ZnMnO3、LaZrO3、PbZr1-xTixO3、Sr2IrO4、Sr2RuO4、ZrSiO4、SmZnOx、Y2Ir2O7、SrIrO3、NdLiTiO3、BaFe12O19、ZrSiO4、LaSrCoO3、LaSrMnO、NiFe2O4、NdSrMnO3、BiTiNbO12等等。
PZT铁电陶瓷薄膜是一种重要的电子信息功能薄膜,具有优异的铁电、压电、介电及热释电性能,在诸如压电传感器、红外探测器、铁电薄膜存储器中都有着广泛的应用,在物理方法,如溅射、PLD制备薄膜的过程中,陶瓷靶材的制备是必不可少的。性能优良、相成分单一的PZT陶瓷靶材无疑会极大地方便后续工艺的研究。
本文以南京皮埃路电子技术有限公司生产的PZT陶瓷靶材为例为大家介绍一下陶瓷靶材工艺。
1. 陶瓷靶材制备方法:采用百分之99.9纯度PbO、百分之99.99纯度TiO2、百分之99.99纯度ZrO2粉末,按化学计量比配料,球磨混合均匀,在大于1000度下通过常压烧结制备靶材。
2. 陶瓷靶材规格:单一结构相;直径20至50毫米,厚度3至6毫米,价格≥2千元。
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皮埃路电子自成立以来,始终秉承客户至上,质量至上的理念,根据客户的要求生产稳定可靠的靶材产品。皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司,由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为您定制高纯、高密度的溅射靶材,方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积(PLD)系统制备高质量的薄膜。
如果您希望研究一种目前尚未存在的单晶薄膜,您可以自己设计组分,我们会为您量身定做专用的氧化物陶瓷靶材、也可以组织专家学者提供薄膜生长方面的建议。我们也可以通过磁控溅射或PLD为您定做相应的薄膜,甚至进行XRD、SEM和AFM检测。在您提出需求和签订合同之后,我们将在3-5周内为您提供专用的高质量靶材。我们的每个靶材的原材料纯度都保证在百分之99.9以上,部分靶材的原材料纯度可以实现百分之99.99。靶材价格是由原材料和加工难度决定的,具体费用请拨打吸顶悬浮的电话联系咨询!