镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统,在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。镀膜靶材生产厂家、代理商、经销商也增多不少,竞争力都很激烈,如何选择镀膜靶材厂家呢?镀膜靶材厂家哪家好?
首先让我们一起了解关于靶材的相关内容:靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料,不同的靶材可以获得不同的膜系,靶材按照化学成分不同可分为:金属靶材、氧化物靶材等。化学式中含有多种金属离子和氧离子的化合物即复杂氧化物,比如:ITO、SrRuO3、BiFeO3、PbTiO3、ErNiO3、Sr2IrO4、Sr2RuO4、PbNiO3、LaSrCuO4、LiFePO4、Bi2FeCrO6、GdCuO3、SrFeO3、Bi4Ti3O12、SrIrO3、Y3Fe5O12、BiLaTi3O12、BiTiHfO12、Ga1.2Fe0.8O3等等。
溅射靶材的质量是由纯度、致密度、是否单相这三个指标来评判的,而高致密、高纯度的靶材使用更复杂的生产加工工艺或选择成本更高的原料则使靶材价格水涨船高。
溅射靶材通常是在高真空环境中,采用物理气相沉积法在所需衬底上沉积成膜。对陶瓷靶材来说,通常是通过高温固相反应,将粉末压成的初坯烧结成块,因而密度是远不及单晶材料的。靶材的致密度对成膜的质量有着重要的影响,低致密的靶材在高能粒子束或高能激光轰击下容易溅射出大颗粒,导致成膜后表面粗糙,影响平整度;另一方面,低致密靶材也容易开裂甚至破碎。
那如何在保证质量的同时购买价格合适的溅射靶材呢?下面以皮埃路电子技术有限公司生产的BiFeO3陶瓷靶材为例,对溅射靶材价格进行介绍。
1. 陶瓷靶材制备方法:采用百分之99.9纯度Fe2O3、百分之99.9纯度 Bi2O3粉末, 按化学计量比配料,球磨5至8小时后混合均匀,在大于700度下通过常压烧结制备靶材。
2. 陶瓷靶材规格:单一结构相;直径20至50毫米,厚度3至6毫米,价格≥2千元。
如有想要专业定制高致密靶材的客户,欢迎咨询皮埃路电子技术有限公司。
皮埃路电子自成立以来,始终秉承客户至上,质量至上的理念,根据客户的要求生产稳定可靠的靶材产品。皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司,由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为您定制高纯、高密度的溅射靶材,方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积(PLD)系统制备高质量的薄膜。
如果您希望研究一种目前尚未存在的单晶薄膜,您可以自己设计组分,我们会为您量身定做专用的氧化物陶瓷靶材、也可以组织专家学者提供薄膜生长方面的建议。我们也可以通过磁控溅射或PLD为您定做相应的薄膜,甚至进行XRD、SEM和AFM检测。在您提出需求和签订合同之后,我们将在3-5周内为您提供专用的高质量靶材。我们的每个靶材的原材料纯度都保证在百分之99.9以上,部分靶材的原材料纯度可以实现99.99%。靶材价格是由原材料和加工难度决定的,具体费用请拨打吸顶悬浮的电话联系咨询!