简单氧化物(oxide)是指氧元素与另外一种化学元素组成的二元化合物。氧化物陶瓷在地球上储量丰富,应用领域十分广泛。如Al2O3、CdO、Co3O4、Cr2O3、CrO2、Cu2O、CuO、Fe2O3、Fe3O4、Ga2O3、Gd2O3、In2O3、HfO2、La2O3、RuO2、MgO、MnO、MoO3、Nd2O3、NiO、Pb4O7、Pr6O11、Sc2O3、SiO2、Sm2O3、SnO2、VO2、Ta2O5、Tb2O3、Tb4O7、TiO2、Tm2O3、WO3、ZnO、ZrO2、Y2O3、Yb2O3等。
ZnO作为一种环境友好,储能丰富的多功能宽禁带氧化物材料,在经过一定数量的简并掺杂后,可以变成较高光电性能的透明导电氧化物材料。氧化锌透明导电薄膜:在100-800nm的可见光范围内,透光率大于90%。在制备氧化锌薄膜的过程中掺入2%左右的氧化铝薄膜的每方块电阻可控制在100欧姆以下而且透光率不变。
下面以氧化锌(ZnO)为例向大家介绍一下。氧化锌晶体具有四种晶体结构,闪锌矿结构(与金刚石类似,可看成氧原子FCC排列,4个锌原子占据金刚石中晶胞内四个碳原子的位置);NaCl结构;CsCl结构(氧原子简单立方排列,锌原子占据体心位置);纤锌矿结构(六方结构,氧原子层和锌原子层呈六方紧密排列。氧化锌是一种常用的化学添加剂,广泛地应用于塑料、硅酸盐制品、合成橡胶、润滑油、油漆涂料、药膏、粘合剂、食品、电池、阻燃剂等产品的制作中。
要制备高质量氧化锌薄膜的前提条件便是需要一个高致密度、高纯度和纯相的靶材。通常来说需要通过溅射方法来制备薄膜。溅射镀膜是以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面,使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面,吸附在所需衬底上形成薄膜,常规的溅射方法有磁控溅射和脉冲激光沉积法这两种。靶材的密度对成膜的质量有着重要的影响,低密度的靶材在高能粒子束或高能激光轰击下容易溅射出大颗粒,导致成膜后表面粗糙,影响平整度;另一方面,低密度靶材也容易开裂甚至破碎。靶材的质量是决定镀膜质量的重要影响因素。纯度越高、使用更复杂的生产加工工艺或选择成本更高的原料则使靶材价格水涨船高,溅射靶材的尺寸也因使用原料的数量也会对靶材的价格产生影响。
目前市面上有不少靶材生产商家,但是由于各个靶材生产厂家生产工艺和技术的不同,靶材的质量却很难把控,如何选择一家优质的靶材生产厂家进行定制与购买,成为了研究人员眼中的一个难题。南京皮埃路电子技术有限公司作为一家优质的靶材生产厂家,专注高质量靶材的研发,具有强大的研发团队、可靠的生产设备和良好的售前售后服务。下面以皮埃路电子技术有限公司生产的氧化锌高密度陶瓷靶材为例为大家介绍一下制备方法及供应价格。
1. 陶瓷靶材制备方法:采用百分之99.95纯度ZnO粉末,在大于1000度下通过常压烧结制备陶瓷靶材。
2. 陶瓷靶材规格:单一结构相;直径20至50毫米,厚度3至6毫米,价格大于2千元。
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如果您希望研究一种目前尚未存在的单晶薄膜,您可以自己设计组分,我们会为您量身定做专用的高纯溅射靶材、也可以组织专家学者提供薄膜生长方面的建议。我们也可以通过磁控溅射或PLD为您定做相应的薄膜,甚至进行XRD和SEM、AFM检测。在您提出需求和签订合同之后,我们将在3-5周内为您提供专用的高质量靶材。我们的每个靶材的原材料纯度都保证在百分之99.9以上,部分靶材的原材料纯度可以实现百分之99.99。另外靶材价格是由原材料和加工难度决定的,具体费用请拨打吸顶悬浮的电话联系咨询!