钌酸锶是一个典型的钙钛矿结构的铁磁氧化物,被广泛用作电极、异质结和超晶格的重要组成材料以探索新型的氧化物电子学和自旋电子学器件。如何选择高纯钌酸锶厂家,对于很多人来说,都不是非常清楚。今天南京皮埃路电子技术有限公司就给各位推荐下高纯钌酸锶厂家。
陶瓷靶材基本上是金属氧化物材料,比如Al2O3、ZnO、Ga2O3等简单金属氧化物;又如BiFeO3、SrRuO3、Sr2IrO4、PbTiO3 、BiAlO3、CaTiO3、BiTiNbOx、BiYbFeO3、SrBiTaOx、Sr2PbO4、SrZrO3、YMnO3、ZnSnO3、SrFeO3、SrCoO3、SrBaCo2O6、Sr2FeMoO6、LaMnO3、SrRuO3和La0.67Sr0.33MnO3等二元或多元氧化物。
钌酸锶的纯度关系到薄膜的质量,高纯钌酸锶对于制备高质量的钌酸锶薄膜具有重要意义。专业靶材研发生产的南京皮埃路围绕高纯钌酸锶SrRuO3陶瓷靶材为大家介绍其特点以及制备方法。
高纯钌酸锶分子式为SrRuO3,具有很好的导电性,这是一种具有高附加价值的特种电子材料,主要作为导电电极使用在微电子,显示器,存储器以及光学镀膜等产业上。在钛酸锶SrTiO3单晶基片上生长的铁电或介电薄膜通常采用高纯钌酸锶薄膜做电极。高纯钌酸锶靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素,接下来我们来讲讲如何制备高质量的单相钌酸锶靶材。
本文以皮埃路电子技术有限公司生产的高纯钌酸锶SrRuO3陶瓷靶材为例,为大家具体讲述它的参数规格和制备方法。
1. 陶瓷靶材制备方法:采用百分之99.95纯度SrCO3、百分之99.9或百分之99.99纯度 RuO2粉末, 按化学计量比配料,球磨5至8小时后混合均匀,在大于1100度通过热压烧结制备陶瓷靶材。
2. 陶瓷靶材规格:单一结构相;直径20至50毫米,厚度3至6毫米;SrRuO3含有贵金属元素Ru,靶材价格通常在3500元及以上。
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皮埃路电子自成立以来,始终秉承客户至上,质量至上的理念,根据客户的要求生产稳定可靠靶材产品。皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司,由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为您定制高纯、高密度的溅射靶材,方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积(PLD)系统制备高质量的薄膜。
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