随着时代的发展,各行各业对溅射靶材的需求越来越高,由于不同的企业或科研单位有着自己的溅射系统,需要根据自己的需求进行专业的溅射靶材的定制,然而目前市面上提供专业定制的靶材公司还比较少。
什么是溅射镀膜?溅射镀膜是以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面,使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面,吸附在所需衬底上形成薄膜,常规的溅射方法有磁控溅射和脉冲激光沉积法这两种。磁控溅射是通过被电离的Ar离子轰击靶材,使靶材表面区域部分气化然后沉积到衬底上,所需靶材的尺寸较大,通常在50mm左右;而脉冲激光沉积法则是通过高能脉冲激光来气化靶材,被聚焦的激光作用区域很小,因此对靶材尺寸要求较小,通常在20-30mm。
下面以皮埃路电子技术有限公司生产的BaTiO3陶瓷靶材为例,为大家具体讲述其制备方法和规格参数。
1.陶瓷靶材制备方法:采用99.99%纯度TiO2以及99.99%纯度BaCO3粉末,按化学计量比配料,球磨混合均匀,1000℃预合成后,在大于1100度下通过常压烧结制备靶材。
2.陶瓷靶材规格:单一结构相;直径20至50毫米,厚度3至6毫米,尺寸可以根据客户要求定制,高质量的BaTiO3陶瓷靶材价格通常³2000元。
如有想要购买定制溅射靶材的客户,欢迎咨询皮埃路电子技术有限公司。
皮埃路电子自成立以来,始终秉承客户至上,质量至上的理念,根据客户的要求生产稳定可靠的靶材产品,皮埃路电子技术有限公司是南京政府321项目资助的高科技公司,由新加坡南洋理工大学、南京理工大学、南京航空航天大学和南京大学的几位教授负责技术指导。我们乐意为大家定制高纯、高密度的溅射靶材,方便您进一步通过磁控溅射、脉冲激光沉积(PLD)系统制备高质量的薄膜。
如果您希望研究一种目前尚未存在的单晶薄膜,您可以自己设计组分,我们会为您量身定做专用的高纯溅射靶材、也可以组织专家学提供薄膜生长方面的建议。我们也可以通过的磁控溅射或PLD为您定做相应的薄膜,甚至进行XRD及SEM、AFM检测。在您提出需求和签订合同之后,我们将在3-5周内为您提供专用的高质量靶材。我们的每个靶材的原材料纯度都保证在99.9%以上,部分靶材的原材料纯度可以实现99.99%。另外靶材价格是由原材料和加工难度决定的,具体费用请拨打吸顶悬浮的电话联系咨询!